三维表面形状测定技术

可在非接触状态下同时测量段差、膜厚!!
东丽工程的SP系列可在非接触的状态下同时对TCO、a-Si、Metal的各膜厚度做高精度测量。

利用光干涉法实现非接触、高精度测量

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使用例

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SP系列规格

规格
测量原理 光干涉法
垂直扫描法(VSI法)、相位移动法(PSI法)
垂直扫描范围 0~ MAX 400μm
垂直扫描速度 MAX 214μm/sec 
高度显示分辨率 0.001μm/0.01nm (切换)
干涉物镜 10×, 2.5×, 5×, 20×, 50×
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